MIRA III LMU (Presion Variable)

Microscopio electrónico SEM FE de Presión Variable con la facilidad extendida de operar en bajo vacío, con emisor Schottky de Alto Brillo para alta resolución, alta corriente y bajo ruido.

Descripción

Microscopio electrónico SEM FE de Alta Resolución que opera a presión variable y la posibilidad debajo vacío.

Puntos fuertes:

Emisor Schottky de Alto Brillo para alta resolución / alta corriente / bajo ruido.

Posibilidad de examinar muestras no conductoras, que contengan agua en sus estados naturales en condiciones de bajo vacío dentro de la cámara de muestra.

Obtención de vacío limpio en forma rápida y sencilla por medio de bombas rotatorias y turbo, con fácil cambio de modo de operación de alto vacío a bajo vacío.

Diseño único de tres lentes Wide Field Optics™ que ofrece una variedad de modos de trabajo y visualización que integran las lentes propietarias intermedias para la optimización de la apertura del haz.

Real time In-Flight Beam Tracing™ for the performance and spot optimisation integrating the well established software Electron Optical Design.

Alta velocidad de visualización.

Automatización de Alto Rendimiento y Área Grande, por ejemplo, localización de  partículas y análisis automatizados.

Extraordinario potencial de análisis - Cámara de 11 puertos con geometría optimizada, lo que permite realizar en forma simultánea EDS, WDS y EBSD.

Ajuste totalmente automatizado del microscopio incluyendo óptica y alineación.

Software softisticado para el control del microscopio, adquisición de datos, archivado, procesamiento y análisis.

Operaciones en red y acceso/diagnóstico remoto integrado, todo esto viene como estándar de Tescan.

a) Especificaciones esenciales

Resolución
En modo de Alto Vacío (SE)	< 2.0 nm a 30 KV
En modo de Bajo Vacío	< 2.5 nm a 30 KV
Vacío de Trabajo
Cámara - Modo de Alto Vacío	< 1 x 10-2 Pa
Cámara - Modo de Bajo Vacío	5-500 Pa
Vacío del cañon	< 1 x 10-6 Pa
Modos de Operación
Alto Vacío	Resolución Profundidad de campo Campo amplio Ojo de pes Rocking beam
Bajo Vacío	Resolución
Magnificación a 30kV/30mm
A 30 KV	13 - 1 000 000 X
Mínima en el modo Ojo-de-Pes	Cerca de 4X
Voltaje de aceleración
500 V a 30 KV
Cañón de Electrones
Emisor Schottky de Alto Brillo
Corriente de haz
2 pA a 20 nA
Barridos
Velocidad de barridos	De 200 ns a 10 ms por pixel ajustable en pasos o continuo.
Ventana de Foco:	Forma, tamaño y posición continuamente ajustable
Tamaño de imagen
Hasta 4 096 x 4 096 pixels, ajustable separadamente para imágenes en vivo (en 4 pasos) y para imágenes almacenadas (9 pasos), cuadrados o rectángulos con relación 3:4 o 1:2 a elegir.
Control del Microscopio
Todos las funciones del microscopio se controlan por medio de la PC por medio del programa MiraTC usando la plataforma de Windows™
Acceso Remoto
Via TCP/IP
Procedimientos automáticos
Corriente de la Sonda y tamaño del punto ajustable en forma contínuam por In-Flight Beam Tracing™ Control de vacío Alineación del cañón. Compensación para kV Corriente del haz optimizado para un tamaño del haz. Tamaño del Spot optimizado para los aumentos. Velocidad de barrido. Contraste y Brillo. Foco y Astigmatismo. Look up Table.

b) Cámara de la muestra

Cámara LM
Tamaño interno	ø230 mm
Ancho de la puerta	148 mm
Número de puertos	11
Suspensión de la cámara	Neumática
Platina porta muestra
Tipo	Semi-compucéntrico
Movimientos	X= 80 mm - motorizada Y= 60 mm - motorizada Z= 47 mm - manual Rot.: 360° continuo - motorizado Inclinación: -75° a +50° con una distancia de trabajo de 15 mm y para altura eucéntrica del especimen. Máxima altura del especimen: 60 mm.

Requisitos
Instalación	Enería eléctrica 230 V/50 Hz o 120 V/60 Hz, 1300 VA, Sin agua de enfriamiento Se recomienda nitrógeno comprimido:1.5 – 5Atm, Aire comprimido para suspensión: 4.5 – 6 Bars
Ambiental	Temperatura ambiental: 17 – 24 °C Humedad relativa: max. 80 % Vibración: max. 1 μm Campo magnético de fondo: síncrono max. 3 × 10-7 T Campo magnético de fondo: asíncrono max. 1 × 10-7 T Dimensiones del sistema:  2.15m × 0.94m CUarto para instalación: min. 3m × 2.5m

Configuración estándar del microscopio MIRA LMH:

Detector SE tipo ET

Detector retraible BSE
Medición de corriente del cañón de electrones.
Alama de toque.

Cámara de video en la cámara de la muestra.

Software estándar

Medición.

Operaciones de imágen.

Procesamiento de imágen.

Barrido 3D.

Dureza.

Calibrador multi imágen.
Área de objetos.

Print magnification.

Switch-Off Timer.

Tolerancia

Detector TE

EBIC

EDX

WDX

EBSD

Enfriamiento de la platina

y para software:

Morfología.

Análisis de partículas

Image Snnaper.

Image Observer.

Mouse Link