MIRA III LMH (Alto Vacio)

Microscopio electrónico SEM FE de Alta Resolución que opera a alto vacío con emisor Schottky de Alto Brillo para alta resolución, alta corriente y bajo ruido.

Descripción

Microscopio electrónico SEM FE de Alta Resolución que opera a alto vacío.

Puntos fuertes:

Emisor Schottky de Alto Brillo para alta resolución / alta corriente / bajo ruido.

Diseño único de tres lentes Wide Field Optics™ que ofrece una variedad de modos de trabajo y visualización que integran las lentes propietarias intermedias para la optimización de la apertura del haz.

Real time In-Flight Beam Tracing™ for the performance and spot optimisation integrating the well established software Electron Optical Design.

Alta velocidad de visualización.

Automatización de Alto Rendimiento y Área Grande, por ejemplo, localización de  partículas y análisis automatizados.

Extraordinario potencial de análisis - Cámara de 11 puertos con geometría optimizada, lo que permite realizar en forma simultánea EDS, WDS y EBSD.

Ajuste totalmente automatizado del microscopio incluyendo óptica y alineación.

Software softisticado para el control del microscopio, adquisición de datos, archivado, procesamiento y análisis.

Operaciones en red y acceso/diagnóstico remoto integrado, todo esto viene como estándar de Tescan.

a) Especificaciones esenciales

Resolución
En modo de alto vacío (SE)	< 2.0 nm a 30 KV
Vacío de Trabajo
Cámara - Modo de Alto Vacío	< 1 x 10-2 Pa
Vacío del cañon	< 1 x 10-6 Pa
Modos de Operación
Alto Vacío	Resolución Profundidad de campo Campo amplio Ojo de pes Rocking beam
Magnificación a 30kV/30mm
A 30 KV	13 - 1 000 000 X
Mínima en el modo Ojo-de-Pes	Cerca de 4X
Voltaje de aceleración
500 V a 30 KV
Cañón de Electrones
Emisor Schottky de Alto Brillo
Corriente de haz
2 pA a 20 nA
Barridos
Velocidad de barridos	De 200 ns a 10 ms por pixel ajustable en pasos o continuo.
Ventana de Foco:	Forma, tamaño y posición continuamente ajustable
Tamaño de imagen
Hasta 4 096 x 4 096 pixels, ajustable separadamente para imágenes en vivo (en 4 pasos) y para imágenes almacenadas (9 pasos), cuadrados o rectángulos con relación 3:4 o 1:2 a elegir.
Control del Microscopio
Todos las funciones del microscopio se controlan por medio de la PC por medio del programa MiraTC usando la plataforma de Windows™
Acceso Remoto
Via TCP/IP
Procedimientos automáticos
Corriente de la Sonda y tamaño del punto ajustable en forma contínuam por In-Flight Beam Tracing™ Control de vacío Alineación del cañón. Compensación para kV Corriente del haz optimizado para un tamaño del haz. Tamaño del Spot optimizado para los aumentos. Velocidad de barrido. Contraste y Brillo. Foco y Astigmatismo. Look up Table.

b) Cámara de la muestra

Cámara LM
Tamaño interno	ø230 mm
Ancho de la puerta	148 mm
Número de puertos	11
Suspensión de la cámara	Neumática
Platina porta muestra
Tipo	Semi-compucéntrico
Movimientos	X= 80 mm - motorizada Y= 60 mm - motorizada Z= 47 mm - manual Rot.: 360° continuo - motorizado Inclinación: -75° a +50° con una distancia de trabajo de 15 mm y para altura eucéntrica del especimen. Máxima altura del especimen: 60 mm.

Configuración estándar del microscopio MIRA LMH:

Detector SE tipo ET

Detector retraible BSE
Medición de corriente del cañón de electrones.
Alama de toque.

Cámara de video en la cámara de la muestra.

Software estándar

Medición.

Operaciones de imágen.

Procesamiento de imágen.

Barrido 3D.

Dureza.

Calibrador multi imágen.
Área de objetos.

Print magnification.

Switch-Off Timer.

Tolerancia

Detector TE

EBIC

EDX

WDX

EBSD

Enfriamiento de la platina

y para software:

Morfología.

Análisis de partículas

Image Snnaper.

Image Observer.

Mouse Link

	Especificaciones
	Folleto Mira LM (inglés)		351 KB
	Folleto Tescan 2007 (inglés)		2,147 KB