Lyra III FIB-SEM

Cámara Extra Grande, Platina Motorizada extendida, Presión Variable
- Un diseño unico de cuatro lentes Wide Field Optics™ que ofrece la variedad de modos de trabajo y de exhibición que incorporan la lente intermedia propietaria de Tescan para la optimización de la apertura del haz
- Tasa rápida de refresco de imágen, utilizando los detectores de primera clase YAG
- Modo de presión variable para observar las muestras no conductoras en su estado natural sin ningun recubrimiento.
- Proyección de imagenes estereoscopicas en vivo para la navegacion precisa en 3D
- Las operaciones de red, asi como el acceso y diagnostico remotos, vienen como un estándar de Tescan.
- Platina con 5-ejes compucentricos completamente motorizados con un rango de movimientos extra amplio.
Caracteristicas Especificas de FIB
- Columna unica de iones con bombeo diferencial, con 2 bombas de iones para obtener un efecto de ultra-baja dispersión de iones.
- Cambiador motorizado de la apertura con ultra-alta reproductibilidad.
- Beam Blanker y Faraday cup incluidos como estandarincluded as a standard.
- Proyeccion de imagen SEM Simultanea con el grabado o la deposición FIB.
- El control del modo FIB esta completamente integrado en el software.
- Aplicacion de grandes prestaciones para la creacion de formas basicas y con programación de parametros.
Características de la opción GIS
- Configuración geometrica ideal entre las columnas SEM y FIB.
- 5 depositos independientes de gas.
- Microplatina de 3 ejes con la colocación automatica de los inyectores.
- Control automático de temperatura.
Especificaciones de LYRA III FIB-SEM:
| Columna SEM |
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| Cañon de Electrones |
Filamento de Tungsteno |
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| Resolución (SE) |
3.5 nm a 30 kV | ||
| Voltaje de aceleración |
200 V a 30 kV | ||
| Magnificaciones |
3x - 1,000,000x |
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| Sonda de Corriente |
1pA a 2μA | ||
| Columna FIB | |||
| Cañon de Iones |
Fuente de iones de Ga liquido |
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| Resolución (SE) |
< 5 nm aa 30 kV |
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| Vacio de la columna |
< 5 × 10-6 Pa | ||
| Magnificaciones |
150x to 1,000,000x |
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| Voltaje de aceleración |
1 kV a 5 kV, 10kV a 30 kV |
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| Sonda de corriente |
1 pA a 40 nA |
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| Camara | |||
| Dimensiones internas |
300 mm (ancho) x 300 mm (profundidad) | ||
| Tamaño de la puerta |
280 mm (ancho) x 310 mm (profundidad) |
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| Numero de puertos |
9+ |
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| Tipo de suspension |
Aislamiento activo de vibraciones. |
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| Platina | |||
| Tipo | 5-ejes completamente motorizados, compucentricos |
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| Movimientos |
X = 130 mm Y = 130 mm Z = 100 mm Rotación.: 360° continua Inclinación: -20° a +80° |
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| Altura máxima de la muestra |
137 mm | ||








