Lyra III FIB-SEM

LYRA FIB-SEM

Cámara Extra Grande, Platina Motorizada extendida, Presión Variable

  • Un diseño unico de cuatro lentes Wide Field Optics™ que ofrece la variedad de modos de trabajo y de exhibición que incorporan la lente intermedia propietaria de Tescan para la optimización de la apertura del haz
  • Tasa rápida de refresco de imágen, utilizando los detectores de primera clase YAG
  • Modo de presión variable para observar las muestras no conductoras en su estado natural sin ningun recubrimiento.
  • Proyección de imagenes estereoscopicas en vivo para la navegacion precisa en 3D
  • Las operaciones de red, asi como el acceso y diagnostico remotos, vienen como un estándar de Tescan.
  • Platina con 5-ejes compucentricos completamente motorizados con un rango de movimientos extra amplio.

Caracteristicas Especificas de FIB

  • Columna unica de iones con bombeo diferencial, con 2 bombas de iones para obtener un efecto de ultra-baja dispersión de iones.
  • Cambiador motorizado de la apertura con ultra-alta reproductibilidad.
  • Beam Blanker y Faraday cup incluidos como estandarincluded as a standard.
  • Proyeccion de imagen SEM Simultanea con el grabado o la deposición FIB.
  • El control del modo FIB esta completamente integrado en el software.
  • Aplicacion de grandes prestaciones para la creacion de formas basicas y con programación de parametros.

Características de la opción GIS

  • Configuración geometrica ideal entre las columnas SEM y FIB.
  • 5 depositos independientes de gas.
  • Microplatina de 3 ejes con la colocación automatica de los inyectores.
  • Control automático de temperatura.


Especificaciones de LYRA III FIB-SEM:

Columna SEM
Cañon de Electrones
Filamento de Tungsteno
Resolución (SE)
3.5 nm a 30 kV
Voltaje de aceleración
200 V a 30 kV
Magnificaciones
3x - 1,000,000x
Sonda de Corriente
1pA a 2μA

Columna FIB
Cañon de Iones
Fuente de iones de Ga liquido
Resolución (SE)
< 5 nm aa 30 kV
Vacio de la columna
< 5 × 10-6 Pa
Magnificaciones
150x to 1,000,000x
Voltaje de aceleración
1 kV a 5 kV, 10kV a 30 kV
Sonda de corriente
1 pA a 40 nA

Camara
Dimensiones internas
300 mm (ancho) x 300 mm (profundidad)
Tamaño de la puerta
280 mm (ancho) x 310 mm (profundidad)
Numero de puertos
9+
Tipo de suspension
Aislamiento activo de vibraciones.

Platina
Tipo 5-ejes completamente motorizados, compucentricos
Movimientos
X = 130 mm
Y = 130 mm
Z = 100 mm
Rotación.: 360° continua
Inclinación: -20° a +80°
Altura máxima de la muestra
137 mm